PRODUCT CLASSIFICATION
產品分類日本MTK臭氧水發生設備清潔半導體和液晶 MTK-HC系列降低成本 用臭氧水替代現有化學溶液改善工藝性能半導體晶片清洗去除顆粒、金屬、有機物質等雜質提高太陽能電池板的發電效率良好的紋理形成、雜質去除等。 減少環境影響(環保)通過減少化學品排放實現排放
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日本MTK臭氧水發生設備清潔半導體和液晶 MTK-HC系列 特點介紹
降低成本 用臭氧水替代現有化學溶液
改善工藝性能
半導體晶片清洗去除顆粒、金屬、有機物質等雜質
提高太陽能電池板的發電效率良好的紋理形成、雜質去除等。
減少環境影響(環保)
通過減少化學品排放實現排放
通過使原料氣體(氧氣、空氣)流入雙石英玻璃管之間的間隙中產生的無數微細放電(無聲放電),在原料氣體中產生臭氧。
所有與氣體接觸的部件均由石英制成,因此不存在金屬污染。
高濃度臭氧
臭氧水中半導體、液晶、太陽能電池等金屬雜質清潔規范
臭氧濃度迅速上升,約1分鐘內達到最高臭氧濃度。
小型裝置寬600mm×深600mm×高1300mm(25ppm、5L/min規格)
與其他公司相比便宜
日本MTK臭氧水發生設備清潔半導體和液晶 MTK-HC系列 規格參數
?液晶(有機物除去用)
?半導體
(金屬、粒子、有機物除去用)
?太陽能電池
(有機物、粒子除去用)
?MEMS部件、傳感器等
(有機物、粒子、有機物除去用)金屬)?潔凈規格(不含金屬)
?涵蓋高濃度、高流量
?濃度穩定性
?性價比
半導體(清洗)
FPD、LCD(清洗)
MEMS、傳感器(清潔)
硬盤(清潔)
太陽能電池(清潔)
醫療(洗手、純凈水管道清洗)
食品(洗手、殺菌、除臭)